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瑞士VAT 590系列電動(dòng)高真空調(diào)節(jié)閥

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

瑞士VAT 590系列電動(dòng)高真空調(diào)節(jié)閥
產(chǎn)品類型:電動(dòng)驅(qū)動(dòng)高真空調(diào)節(jié)閥(Proportional Control Valve)

核心功能:

精密壓力調(diào)節(jié)(10?³ ~ 10?? mbar范圍)

動(dòng)態(tài)流量控制(適用于CVD、PVD、刻蝕等工藝)

更新時(shí)間:2025-07-09
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
瀏覽次數(shù):26
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT 590系列電動(dòng)高真空調(diào)節(jié)閥

一、590系列產(chǎn)品定位

  • 產(chǎn)品類型:電動(dòng)驅(qū)動(dòng)高真空調(diào)節(jié)閥(Proportional Control Valve)

  • 核心功能

    • 精密壓力調(diào)節(jié)(10?3 ~ 10?? mbar范圍)

    • 動(dòng)態(tài)流量控制(適用于CVD、PVD、刻蝕等工藝)

  • 核心優(yōu)勢(shì)

    • 分辨率達(dá)0.1%滿量程,響應(yīng)時(shí)間<50ms

    • 全金屬密封(漏率<1×10?11 mbar·L/s)

    • 支持模擬量(0-10V/4-20mA) 和 數(shù)字通信(RS485/Profibus) 控制


二、型號(hào)命名規(guī)則(以VAT 590.12-AA為例)

代碼段含義
590系列名稱(電動(dòng)調(diào)節(jié)閥)
.12通徑尺寸(12=DN25,18=DN40)
-AA密封材質(zhì)(AA=氟橡膠,MM=金屬)

三、中國市場(chǎng)常用子型號(hào)對(duì)比

型號(hào)通徑控制信號(hào)密封材質(zhì)漏率典型應(yīng)用場(chǎng)景
VAT 590.12-AADN250-10V/4-20mA氟橡膠<1×10?? mbar·L/s實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)
VAT 590.18-MMDN40RS485/Profibus金屬密封<1×10?11 mbar·L/s半導(dǎo)體ALD設(shè)備
VAT 590.24-MMDN630-10V金屬密封<1×10?11 mbar·L/s光伏鍍膜腔室進(jìn)氣控制

四、核心技術(shù)參數(shù)

  1. 調(diào)節(jié)性能

    • 線性度:±0.5%滿量程

    • 重復(fù)精度:±0.2%

    • 流量系數(shù)(Cv):0.02(DN25)~0.15(DN63)

  2. 電氣特性

    • 電源電壓:24V DC ±10%

    • 功耗:<15W(待機(jī)<5W)

    • 位置反饋:可選0-10V或SSI絕對(duì)值編碼器

  3. 環(huán)境適應(yīng)性

    • 氟橡膠密封:-20°C ~ +150°C

    • 金屬密封:-200°C ~ +250°C(烘烤工況)

    • 溫度范圍:

    • 耐腐蝕性:兼容Cl?、NF?等工藝氣體(需選配鍍鎳閥體)


五、選型關(guān)鍵步驟

  1. 確定通徑

    • 根據(jù)流量需求選擇DN25/DN40/DN63

    • 計(jì)算公式:??=?????Δ?????
      (Q: 流量,ΔP: 壓差,ρ: 氣體密度)

  2. 選擇控制模式

    • 模擬量控制:適用于PLC直接控制

    • 數(shù)字通信:適合集成到智能真空管理系統(tǒng)

  3. 密封材質(zhì)

    • 氟橡膠(AA):低成本,適合一般真空(≤10?? mbar)

    • 金屬密封(MM):超高真空(≤10?11 mbar),耐等離子體

  4. 特殊選項(xiàng)

    • 加熱版本:防止氣體冷凝(如SiH?工藝)

    • ATEX防爆認(rèn)證:用于危險(xiǎn)環(huán)境


六、安裝與調(diào)試要點(diǎn)

  • 機(jī)械安裝

    • 閥體方向需與氣流一致(箭頭標(biāo)識(shí))

    • 避免振動(dòng)源(建議加裝減震支架)

  • 電氣連接

    • 屏蔽電纜布線(防止電磁干擾)

    • 接地電阻<1Ω

  • 參數(shù)校準(zhǔn)

    1. 通過HMI或軟件設(shè)置零位(0%開度)

    2. 標(biāo)定滿量程(100%開度對(duì)應(yīng)10V/20mA)

    3. 測(cè)試階躍響應(yīng)(目標(biāo):超調(diào)量<5%)


七、典型故障處理

故障現(xiàn)象可能原因解決方案
閥門開度抖動(dòng)信號(hào)干擾/電源不穩(wěn)定檢查屏蔽接地,穩(wěn)壓電源
壓力控制超調(diào)PID參數(shù)不合理重新整定(P↓, I↑, D↓)
通信中斷協(xié)議配置錯(cuò)誤核對(duì)波特率/設(shè)備地址

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